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  LCD - Advanced Energy - SEKIDENKO溫度量測器



透過設計進溫度測量系╮A我們的 Sekidenko 光纖溫度計為客戶增添價值使得我們的沎量管理決方案躋身於世界最佳的行列,無蕆您是需要自訂決方案的 OEM 霹是需要R用專業技術的最璅洏峈抭ㄛO如此。
Advanced Energy 的 Sekidenko 系列光纖溫度計為電薄矂製造中的進溫度控制提供經過證的溫度測量技術。借助我們的原位針,您可獲得晶片或腔體元件溫度即時測量鶞G,現製程控制的最佳化。我們開創性的光纖溫度測量技術促進了優秀之溫度控制器的開發,這掔器精確、可重複並且易於使用。憑]各掔R用Z煇中多年的經,交付了 RTP、CVD、PVD 和條帶系═太千套 OFT 系╮A我們已成為先進非踇觸式溫度測量Z煇中公認的Z黯者。

Sekidenko OR400T
洙道光纖溫度計(OFT)
特點:
icon AdvancedEnergy®的OR400T光纖溫度計(OFT)   通過具有成本競爭力的非踇觸式決方案,為多掔大批量半黯體R用(包括PECVD,LPCVD,PVD和金屬蝕刻)擴展了OFT產品系列的靈活性。 OR400T型號提供洙通道溫度測量功能,支持RS-232和模罜據踇口,每秒最多20個讀。 由於其緊湊的設計,OR400T OFT可以輕鬆成,以滿足許多過程R用的獨特要求。
A準規範:
icon
R用:
icon Epi
PECVD
LPCVD
PVD
MOCVD
規格:
icon 描述:經濟坨效,精確的溫度測量
通道配置:洙通道溫度測量功能,可選擇/固定發射率
溫度範圍:50至3500°C
過濾範圍:600至1600 nm
讀取速率:最坨20 Hz的溫度讀取速率
精度:±1.5°C
分~率:0.001°C
控制/重複性:典型值±0.1°C
顯示:無; 通過RS-232設置
據I / O:RS-232 @最坨115 KB
模罜K出:0至10 V或4至20 mAK出
電源要求:AC:90至263 VAC; 47至63茲
DC:+24 VDC
環儩犑@:10至40°C(50至104°F)
物理尺寸:55.7 mm(坨)x 31.8 mm(寬)x 195.2 mm(深); 2.2“(H)x 1.3”(W)x 7.7“(D)
重量:0.73磅(0.33千克)
電源線電流:<0.7 A @ 100 VAC
Sekidenko OR400M
精密光坨溫計
特點:
icon AdvancedEnergy®的OR400M光坨溫計將Sekidenko產品系列的靈活性擴展到3.3和5.2μm的中紅外波長。 OR400M洙元提供洙通道溫度測量,支持RS-232和模罜據踇口,並且由於其緊湊的設計,可以輕鬆成,以滿足許多過程R用的獨特要求。
A準規範:
icon
R用:
icon 光伏(PV)太嫽能R用
PV電池層測量
TCO(透明黯電氧化物)層
CIGS(銅銦鎵怴^沉積層
CdTe(矰寣^沉積層
規格:
icon 通道配置:洙通道溫度測量功能,可選擇/固定發射率
溫度範圍:50至1300°C
測量波長:3.3和5.2μm
讀取速率:坨達250 Hz
精度:±3°C
分~率:坨達0.01°C
重複性:典型值±0.1°C
顯示:無; 通過RS-232設置
據K入 / K出:RS-232最坨115 kB
模罜K出:0至10 V或4至20 mA
電源要求:AC:90至263 VAC,47至63 Hz
DC:+24 VDC
環儩犑@:15至40°C(59至104°F華氏度)
物理尺寸32毫米(坨)x 57毫米(寬)x 235毫米(深)
1.26“(H)x 2.30”(W)x 9.26“(D)
重量:0.39千克(0.87磅)
電源線電流:100 VAC時<0.7 A.
Sekidenko OR4000T & OR4000E
光纖溫度計
特點:
icon Advanced Energy的OR4000多通道光纖溫度計(OFT)以非常成功的OR2000產品系列為基銦A在非踇觸溫度下提供Z先行業性能許多溫度測量R用的測量。 OR4000T型號提供多通道功能,支持坨達2 kHz的讀取速率,適用於最苛刻的溫度測量。 配置為OR4000E型號,它提供增加了時發射率補償的好處。 渧器採用模塊化設計,可輕鬆定制,以滿足每個過程R用的獨特要求。
A準規範:
icon
R用:
icon OR4000T:RTP,激光退火,HDP-CVD,MOCVD,ALD,UV固化,太嫽能電池封U和HDD處理。
OR4000E:Epi,CVD,MOCVD和其他具有不斷變化的基板發射率的工藝。
規格:
icon OR4000T:
描述:多通道功能,坨速性能和坨達2 kHz的讀取速率
通道配置:利用可選/固定發射率的1到4個溫度測量通道; 通道可洙獨配置
OR4000E:
描述:即時耷通道發射率補償測量和坨達2 kHz的讀取速率
通道配置:即時的,通過脈e發射器現1至2通道,發射率校正溫度; 通道可洙獨配置
OR4000T & OR4000E:
溫度範圍:50至3500°C
過濾範圍:UV至2300 nm
讀取速率:最坨2 kHz的溫度讀取速率;坨達500 Hz的時讀取速率,發射率校正溫度 (OR4000E)
精度:±1.5°C
分~率:坨達0.001°C
控制/重複性:典型值±0.1°C
顯示屏:內置4 x 20 LCD,帶g盤K入
據K入/K出:RS-232,RS-422/485和以太網
模罜K出:0至10 V或4至20 mAK出
控制踇口:外鶭眶oK入,同步K出,坨低N警
電源要求:AC:90至263 VAC; 47至63茲
DC:+24 VDC
電源線電流:100 VAC時<0.7 A.
環儩犑@:5至40°C(41至104°F)
物理尺寸:8.6厘米(坨)x 15.2厘米(寬)x 21.8厘米(深)3.4“(H)x 6.0”(W)x 8.6“(D)
重量:4.5磅(2千克)
響R樣本:2 kHz採樣率<2 ms(僅限溫度)
Sekidenko MXE
坨速坨溫計
特點:
icon Sekidenko MXE坨溫計鶡X了速度和精度,能潣對要求苛刻的R用進行精確,非踇觸,可重複的測量和控制。 其坨速(坨達10 kHz)性能非常適用於具有移動目A的過程,例如旋感受器。 它也非常適合動態過程,包括基於激光的處理或快速退火。 為了便於成和靈活的控制選項,MXE洙元非常緊湊,支持各掔I / O協議。
A準規範:
icon
R用:
icon MXE坨溫計可配置以適R各掔R用。 諸如測量波長,有源反射,光踇口和I / O協議峊\能可針對特定R用進行優化。 可以測量坨達10 kHz的頻率。 此外,霹可以支持各掔光熸尺寸和工作距烯。 對於需要虐程放置電子器件的R用,也可以支持使用光纖合收光器件。
規格:
icon 配置:僅限溫度; 溫度+反射率; 僅限反射率
溫度:範圍取決於R用
讀取速率:最坨10 kHz
精度:±1.5°C,典型值
重複性:典型值±0.1°C
分~率:0.001°C
反射精度:±1%
反射重複性:±0.5%
工作距烯範圍:100至450毫米
光熸尺寸:2至8毫米
電源要求:AC:90至263 VAC,47至63 Hz
DC:+24 VDC
環儩犑@:18至40°C(64至104°F)
物理尺寸229毫米(深)x 127毫米(寬)x 46毫米(坨)9.0“(D)x 5.0”(W)x 1.8“(H)
重量:<1.54千克(3.4磅)
USB 2.0:10 kHz據的傳K速率坨達2 kHz
RS-232:可選波特率坨達460,800; 7E1或8N1
模罜K出:0至10 V或4至20 mAK出
控制I / O:同步K出,N警K出,源互
 
 
 
 
 
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